深圳半导体零部件

半导体零部件产业主要特点半导体零部件产业通常具有高技术密集、学科交叉融合、市场规模占比小且分散，但在价值链上却举足轻重等特点。一般而言，设备零部件占设备总支出的70%左右，以刻蚀机为例，十种主要关键部件占设备总成本的85%。是半导体产业赖以生存和发展的关键支撑，其水平直接决定我国在半导体产业创新方面的基础能级。a.技术密集，对精度和可靠性要求较高。相比于其他行业的基础零部件，半导体零部件由于要用于精密的半导体制造，其前列技术密集的特性尤其明显，有着精度高、批量小、多品种、尺寸特殊、工艺复杂、要求极为苛刻等特点。半导体零部件主要分类和主要特点。深圳半导体零部件

***代半导体材料主要是指硅（Si）和锗（Ge）。硅是***代半导体的**，同时也是各种半导体材料应用中相当有有影响力的一种，构成了一切逻辑器件的基础，在集成电路、网络、电脑、手机、电视、航空航天、**和新能源、硅光伏产业中都得到了极为普遍的应用，硅芯片在人类社会的每一个角落无不闪烁着它的光辉。第二代半导体材料主要是指化合物半导体材料，如砷化镓（GaAs）、锑化铟（InSb）；三元化合物半导体，如GaAsAl、GaAsP；还有一些固溶体半导体，如Ge-Si、GaAs-GaP；玻璃半导体（又称非晶态半导体），如非晶硅、玻璃态氧化物半导体；有机半导体，如酞菁、酞菁铜、聚丙烯腈等。砷化镓（GaAs）和磷化铟（InP）是第二代半导体的**，其中GaAs在射频功放器件中扮演重要角色，InP在光通信器件中应用普遍。深圳半导体零部件由于半导体零部件的特殊性,企业生产经常要兼顾强度、应变、抗腐 蚀、电子特性、材料纯度等复合功能要求。

半导体设备零部件短缺的原因是需求激增。随着全球半导体企业为解决半导体供应不足的问题，纷纷投入大量资金，半导体设备的订单也大幅增加。在一些情况下，过去只需要几个月的设备交付时间超过了两年。随着设备行业迅速提高产量，以应对需求激增，整个零部件库存已经耗尽。海外零部件生产企业没有大幅提高生产能力，也是供不应求的原因之一。半导体设备企业对设备投资反应灵敏，开始迅速扩大生产能力;然而，零部件制造商反应迟缓。半导体业界有关人士表示:“半导体设备企业有了洁净室，可以很容易地提高生产能力，但零部件企业要想建立新的基础设施，需要做很多事情。零部件企业因大规模的设备投资负担过重，因此出现了瓶颈。”

半导体材料：硅和锗是较常见的元素半导体，化合物半导体包括Ⅲ-Ⅴ族化合物（砷化镓等）、Ⅱ-Ⅵ族化合物（硫化锌等）、氧化物（锰、铬、铁、铜等的氧化物）、Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体（镓铝砷或称砷化铝镓），此外还有玻璃半导体、有机半导体等非晶态半导体。从行业习惯来说，不是所有以半导体为材料做成的元器件都称为半导体器件。半导体零部件的产业特点及发展现状：从地域分布看，半导体设备零部件市场主要被美国、日本、欧洲、韩国和中国台湾地区的少数企业所垄断，国内厂商起步晚，国产化率较低。目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率只达到10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在1%-5%，而阀门、静电卡盘、测量仪表等零部件的国产化率不足1%，国产替代空间较大。半导体设备也是我国在半导体制造能力上向**化跃升的关键基础要素。

半导体零部件国产化面临的主要问题：对零部件缺乏重视，产业支持政策失位半导体零部件产业规模总量在数十亿规模，相比半导体重心产业链环节而言体量较小，产品品种规格繁多，**企业少，产业集中度低，存在的技术问题分散，因而长期以来得不到足够重视。我国从2014年开始就将推进半导体产业发展上升至国家战略，随后至少有超过30个地方**出台了促进半导体产业发展的支持政策，但无论是国家层面还是地方层面，政策更多的聚焦在设计、制造封测、设备材料等环节，鲜少覆盖到半导体零部件产业。在资金方面，零部件企业更是鲜少获得资本垂青。国家集成电路产业投资基金目前在半导体零部件领域的投资数量比例较小，投资金额不足亿元。截止到2020年底，以半导体零部件为主业的零部件上市公司总市值（不足300亿元）只占全部半导体产业链企业总市值的1%（超过3万亿元）。分类方式可将半导体重心零部件分为两种。深圳半导体零部件

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以半导体制造中用于固定晶圆的静电吸盘为例，一是其本身是以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷作为主体材料，但同时还需加入其他导电物质使得其总体电阻率满足功能性要求，对于材料多性能复合提出要求；二是陶瓷层和金属底座结合要满足均匀性和强度的要求，因此对陶瓷内部有机加工构造精度要求高；三是静电吸盘表面处理后要达到0.01微米左右的涂层，同时要耐高温，耐磨，使用寿命大于三年以上，因此，对表面处理技术的掌握与应用的要求也比较高，可见制造一件满足半导体制造要求的精密部件需要涉及的学科多广。深圳半导体零部件